TPM5 စီးရီးပါဝါထိန်းချုပ်ကိရိယာသည် module ဒီဇိုင်းစိတ်ကူးကိုလက်ခံပြီးအတွင်းတွင်ဆားကစ် 6 ခုအထိပေါင်းစပ်ထားသည်။ထုတ်ကုန်များကို ဖြန့်ကျက်မီးဖိုများ၊ PECVD၊ epitaxy မီးဖိုများတွင် အဓိကအသုံးပြုကြသည်။